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日本TAISEI大成技研

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01
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2024-08-07

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TU-4100/J日本原裝TAISEI大成技研氣態(tài)除粉設備日本原裝TAISEI大成技研氣態(tài)除粉設備 TRAPACK是一種粉末去除捕集器，可去除半導體和液晶制造設備廢氣中的反應產物（細粉）。結構有渦流旋流吸附型、磁性元件型（Trapac Element）以及兩者結合的組合型三種。特別是，組合型排除了蝕刻設備和CVD設備發(fā)出的亞微米細粉

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